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產(chǎn)品名稱：日立S-3400N型掃描電子顯微鏡
儀器名稱：掃描電子顯微鏡
型號(hào)：Hitachi S-3400N
產(chǎn)地：日本
用途：成分分析
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Hitachi S—3400N型掃描電子顯微鏡，采用TMP分子泵真空系統(tǒng)，節(jié)省占地面積和電源功耗。主要用于對(duì)材料的微觀形貌、組織和成分進(jìn)行有效分析。

掃描電子顯微鏡詳細(xì)信息該設(shè)備具有新研制的電子光學(xué)系統(tǒng)和自動(dòng)化功能顯示系統(tǒng)有全屏顯示，無(wú)閃爍，高像素和實(shí)時(shí)圖像顯示等優(yōu)異的性能，它還可以實(shí)時(shí)信號(hào)混合并同時(shí)顯示兩個(gè)不同的檢測(cè)器觀測(cè)到的互不相同的樣品信息。

通過(guò)高畫(huà)質(zhì)提升掃描電鏡的分析能力和操作性，高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器可以在快速掃描模式下運(yùn)行，這使得尋找大尺寸樣品中感興趣的區(qū)域更為簡(jiǎn)單和便利。

日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的特點(diǎn)

1. S-3400N具有強(qiáng)大的自動(dòng)功能，包括自動(dòng)燈絲飽和、4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸自動(dòng)聚焦和消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度等。

2. 在3kV低加速電壓時(shí)保證有10nm的分辨率。

3. 新型5分割高靈敏半導(dǎo)體式背散射探頭。

4. S-3400N II型具有五軸馬達(dá)臺(tái)，傾斜角度可達(dá)-20度~+90度，樣品zui高可達(dá)80mm。

5. 分析樣品倉(cāng)可以同時(shí)安裝EDX ， WDX 及EBSD。

6. 真空系統(tǒng)使用渦輪分子泵，潔凈、高效。

日立掃描電子顯微鏡S--3400N型的技術(shù)指標(biāo)：

項(xiàng)目	描述
SE分辨率	3.0nm (30kV)，高真空模式 / 10nm (3kV), 高真空模式
BSE分辨率	4.0nm (30kV)，低真空模式
加速電壓	0.3 ~ 30 kV
低真空范圍	6 ~ 270 Pa
最大樣品尺寸	直徑200mm
樣品臺(tái)	I型 II型
X	0 ~ 80mm 0 ~ 100mm
Y	0 ~ 40mm 0 ~ 50mm
Z	5 ~ 35mm 5 ~ 65mm
R	360o 360o
T	-20o~ +90o -20o ~ +90o
T	-20o~ +90o -20o ~ +90o
最大樣品高度	35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm)
驅(qū)動(dòng)類型	手動(dòng) 五軸馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
燈絲	預(yù)對(duì)中鎢燈絲
物鏡光欄	可移動(dòng)式4孔物鏡光欄
槍偏壓	固定比例偏壓、手動(dòng)偏壓和自動(dòng)4偏
檢測(cè)器	二次電子檢測(cè)器高靈敏度半導(dǎo)體背散射電子檢測(cè)器
分析位置	WD=10mm, TOA=35o
控制	鼠標(biāo)、鍵盤(pán)，手動(dòng)旋鈕
自動(dòng)調(diào)校	自動(dòng)燈絲飽和、自動(dòng)4偏壓、自動(dòng)槍對(duì)中、自動(dòng)束流設(shè)定、自動(dòng)合軸、自動(dòng)聚焦消像散、自動(dòng)亮度對(duì)比度